Приветствую! 
Высветилась error err12 на частотном регуляторе FR-V540-3.7K-NA. Другие приборы ATS01N212QN, CIMR-F7Z20181, E3-9100 005H на насосах без неисправностей.
Инструкцию нашел через google по запросу "Ремонт частотного преобразователя Altivar ATV61 Plus atv61exs5c20y" http://prom-electric.ru/articles/1/696/ . Вышел из строя модуль IGBT.
Всем пока